Ferrotec公司今天证实,中国客户订购的首台采用Auratus技术的先进镀膜设备 (Temescal UEFC系列精密电子束蒸发镀膜设备)将交付于杭州立昂东芯微电子有限公司。

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为了使它们长到足以通过太赫兹射线的程度,研究团队开发了独特的分子束外延系统和精心设计的生长程序。由于蒸发铑和硅需要大量能量,因此该系统需要具有两个电子束蒸发器...

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一 磁控溅射电子束蒸发复合镀膜系统 80 二 通信与电子信息实验室设备一批 94 四、开、评标信息: 开标时间:2019年8月26日上午10:30 开标地点:河南省公共资源交易...

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蒸发镀膜,是将膜料加热蒸发为气相后沉积到衬底表面,此种成膜方式决定了蒸发出的粒子能量只能在 0.1-0.3ev,原子动能太低,填充密度太低。 电子束蒸发的不稳定性...

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将固体材料置于高真空环境中加热,使之升华或蒸发并沉积在特定衬底上以获得薄膜的工艺方法。 电子束蒸发 将蒸发材料置于水冷坩埚中,利用电子束直接加热使蒸发材料汽化...

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(JASDAQ:6890)今天宣布,全球较大的专营砷化镓晶圆代工公司,稳懋半导体,已经从Ferrotec订购了TEMESCAL的多台电子束蒸发镀膜系统用于金属沉积,以满足其下一阶段的扩张...

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在硅平面晶体管工艺过程中,电极材料的制备技术是一项关键工艺,典型的制备技术主要有两类:一类是电子束蒸发镀膜技术,另一类是磁控溅射镀膜方法。长期以来,在生产实践...

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超高真空电子束蒸镀系统由预真空进样腔体、电子束蒸发及镀膜腔体、组合真空泵系统、电子束蒸发源、样品台单元、膜厚监控单元、全自动控制系统等主要部分组成;整套...

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上海国际招标有限公司受复旦大学的委托,就“复旦大学电子束蒸发仪等采购国际招标”项目(项目编号:0705-1940182008LT)组织采购,评标工作已经结束,中标结果

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该电子束加热蒸发源采用超高真空兼容设计(CF35法兰),具有水冷、水冷温度检测、手动挡板、线性进样、高压接口、束流检测等功能。该蒸发源可以对棒状导电材料直接进行...

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